感应耦合等离子体二维模型与实验对比.docVIP

ISSN 100020054 CN 1122223/N 清华大学学报 (自然科学版 J T sing hua Un iv (Sci Tech , 2010年 第 50卷 第 2期 2010, Vol. 50, No. 2 21/38 2502253 感应耦合等离子体二维模型与实验对比 程 嘉 , 季林红 , 朱 煜 (清华大学 精密仪器与机械学系 , 摩擦 学国家重点实验室 , 北京 100084 收稿日期 :2009202201 基金项目 :中国博士后科学基金项目 作者简介 :程嘉 (1981 , 男 (汉 , 内蒙古 , 助研。 通讯作者 :季林红 , 教授 , E 2mail:jilh @tsinghua. edu. cn 摘 要 :为研究感应耦合等离子体 (induct ively coupled plas 2 ma, ICP 的建模方法 , 针对 GECRC(gaseous electronics con 2 fer ence radio frequency refer ence cell 标 准等 离子 体实 验平 台 , 利用商业软件 CF D 2ACE+中的等离子体 、 电磁场及流体 等模块建立了二维流 体 ICP 模型 。 仿 真结果 与平 台在 ICP 模式下的放电实验进行了对比分析 , 在等离子体参数 的量级 与变化趋势上均取得了较好的一