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电子光学设计 孙占峰 2009.04;扫描电镜结构 电子枪 透镜系统 扫描线圈 电子束与样品的相互作用 电子探测器 ;;;扫描电镜结构 电子枪 透镜系统 扫描线圈 电子束与样品的相互作用 电子探测器 ; 一般来讲，在扫描电镜中，电子枪是一个微小的高亮度电子源，其作用就是为整个系统提供一个稳定的电子源以形成电子束。 当前影响扫描电镜图像质量的因素主要有以下几个：第一，入射电子束的束斑大小(决定了观察的分辨率)；第二，入射电子束的亮度(决定了图象的信噪比)；第三，入射电子束???能量, 即加速电压(决定了电子束在样品中的影响区)；第四，样品性质。因此，从扫描电镜出现开始，研究人员就希望获得束斑更小, 亮度更大的电子源(电子枪)。;;电子枪;电子枪;电子枪;扫描电镜结构 电子枪 透镜系统 扫描线圈 电子束与样品的相互作用 电子探测器 ;透镜系统; 物镜是非对称透镜，具有长的工作距离、低的球差系数和小的漏磁。物镜下极靴可以在样品室内拆卸，物镜下极靴的拆卸不影响扫描线圈原始状态。物镜的上、下极靴间装有可调的物镜光阑，通过调节使其处在物镜主平面位置。物镜光阑安装架可以装入三个光阑，光阑直径通常是100μm或者200μm（用户也可以根据实际需要安装其它直径的光阑）。物镜光阑X、Y方向调整装置安装在样品室的右前方，通过这个调节装置，可以根据使用者的需要选用物镜光阑，并与电子束对