Libo-第五章 电容式传感器.pptVIP

电容式传感器是将被测参数变换成电容量的测量装置。 优点： 测量范围大：金属和半导体的△R/R：1%，10%， △C/C：100%以上 灵敏度高：用比率变压器电桥，可测△C达10-7 动态响应好：可动电极的质量可做的很小 机械损失小：静电力很小，mN级，无摩擦，热效应很小 结构简单、适应性强：易于制造，无机材料，适应恶劣环境 可以实现非接触测量、具有平均效应：如回转轴振动或偏心率或轴承的径向间隙；减小局部加工误差的影响 缺点： 输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受电极几何尺寸限制，一般为几十到几百PF，使传感器输出阻抗很高，尤其当用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108?，且功率小（P=U2ωC）。故传感器负载能力差，易受外界干扰影响。 寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，使传感器工作不稳定，影响测量精度。 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略 等效电容C=C0+Cp， 等效电阻Re≈Rg （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 减小环境温度湿度等变化所产生的影响，保证绝缘材料的绝缘性能 消除和减小边缘效应 消除和减小寄生电容的影响，防止和减少外界干扰 尽可能采用差动式电容传感器 选材、结构、加工工艺 电极：温度系数低的铁镍合金、陶瓷或石英上喷镀金或银（电极可做得薄，减小边缘效应） 电极支架：选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架 电介质：空气或云母 （介电常数温度系数近为0） 绝缘性：传感器密封（用以防尘、防潮） 电源频率高，降低内阻 采用差动结构、测量电路来减小温度等误差 理想电容器的电场线是直线，而实际电容器只有中间有些区域勉强是直线，越往外电场线弯曲的越厉害，到电容边缘时电场线弯曲最厉害，这种电场线弯曲现象就是边缘效应。 边缘效应 边缘效应 边缘效应 由边缘效应产生的附加电容量相当大，不能忽略； 附加电容量△C与基本电容量C0的相对百分比△C/C0 随着δ灵敏地变化，特别动态检测时影响尤为严重； 随δ减小，△C/C0减小，但在百分之几以上； 随r增大，边缘附加电容量△C相对增加较慢。 危害：灵敏度降低，产生非线性 消除或减小的方法： 减小极间距，使电极直径或边长与间距比很大，易产生击穿并有可能限制测量范围 等位环结构 等位环结构 屏蔽和接地 增加初始电容值，降低容抗。 导线间分布电容有静电感应，因此导线和导线要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若采用平行排列时可采用同轴屏蔽线。 尽可能一点接地，避免多点接地 将测量线路的前级或全部与传感器组装在一起，构成整体式结构，消除长电缆的影响→硅电容式传感器 双层屏蔽等电位传输技术（驱动电缆技术） 减小非线性误差 提高传感器灵敏度 减小寄生电容的影响 温度、湿度等环境因素的影响 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 1、调频电路 2、运算放大器电路 3、双T型电桥电路 4、脉宽调制电路 最大特点：能克服变极距型电容传感器的非线性。 电路的特点： ①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； ②电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； ③输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； ④适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器 。 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化 通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号 优点： 采用直流电源，其电压稳定度高 不存在稳频、波形纯度的要求 也不需要相敏检波与解调等 对元件无线性要求 经低通滤波器可输出较大的直流电压 对输出矩形波的纯度要求也不高 （一）工作原理 （二）主要性能 （三）等效电路 （四）设计要点 （五）测量电路 （六）典型应用 1、电容式压力传感器 2、电容式加速度传感器 3、电容式位移传感器 总结！ 2、消除和减小边缘效应 2、消除和减小边缘效应 2、消除和减小边缘效应 边 缘 电 场 均 匀 电 场 3