离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术.pdf

４６ ３ 　 　 　 Ｖｏｌ．４６Ｎｏ．３ 　　　　　　　　　　　　 ２０１７ ３ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｍａｒｃｈ２０１７ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０３２２００２ ｇ ，， ， ， ， ， ， ， １２３ １２ １２ １２ １２ １２ １２ ， ， ， ， ， ， （ ， ） １ ２１００４２ （ ， ） ２ ２１００４２ （ ， ） ３ １０００４９ ： ， ， 　 ， ， 、 ． ０．１５２ｍｍ ， 、 ， ０．２８４ｍｍ １．１１０ ｍ ０．１９４ ｍ μ μ ， ． ． ： ； ； ； ； ： ： ： （ ） Ｏ４３９ Ａ １００４４２１３２０１７０３０３２２００２７