YS/T 837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法.pdf

ICS77.120.99 H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST837 2012 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 - Standard racticeforultrasonic p C-scanbondevaluationofsutterin taret-backin lateassemblies p ㅤㅤㅤㅤ g g gp 2012-11-07发布 2013-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST837 2012 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 - 1 范围 、 、 、 、 本标准规定了溅射用靶材 背板结合质量检验方法的一般要求 检验设备 对比试块 检验过程 缺 - , 。 陷评定及检验报告等 该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法 扫描检验技术 C ( 、 ) 本标准适用于用中间层材料结合方式 如软钎焊 硬钎焊和环氧树脂粘接等 的溅射靶材 背板结合 - 、 、 。 。 面的孔洞 未结合 氧化物夹杂等缺陷的检验 其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 : 机械电气安全 机械电气设备 第 部分 通用技术条件 GB5226.1 1 / 无损检测 人员资格鉴定与认证 GBT9445 / 无损检测 超声检测用钢参考试块的制作与检验方法 GBT11259 / 无损检测 术语 超声检测 GBT12604.1 / : 机床检验通则 第 部分 在无负荷或精加工条件下机床的几何精度