YS/T 1031-2015化学气相沉积炉.pdf

ICS77.180 H 91 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1031 2015 化 学气 相沉积炉 Chemicalvaordeositionfurnace p p ㅤㅤㅤㅤ 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1031 2015 化 学气 相沉积炉 1 范围 、 、 、 、 、 、 本标准规定了化学气相沉积炉的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输 贮存 质量证明书和 ( ) 。 合同 或订货单 内容 本标准适用于化学气相沉积。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / — 真空技术 术语 GBT3163 2007 : 电热装置的安全 第 部分 通用要求 GB5959.1 1 : 电热装置的安全 第 部分 对电阻加热装置的特殊要求 GB5959.4 4 / — : 电热设备的试验方法 第 部分 通用部分 GBT10066.1 2004 1 / — : 电热设备的试验方法 第 部分 间接电阻炉 GBT10066.4 2004 4 / — ㅤㅤㅤㅤ : 电热装置基本技术条件 第 部分 通用部分 GBT10067.1 2005 1 / — : 电热装置基本技术条件 第 部分 间接电阻炉 GBT10067.4 2005 4 / — 真空技术 真空烧结炉 JBT10550 2006