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- | 2015-04-30 颁布
- | 2015-10-01 实施
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ICS77.150.99
H 63
中华人民共和国有色金属行业标准
/ —
YST1024 2015
溅射用钽靶材
Tantalumsutterin tarets
p g g
ㅤㅤㅤㅤ
2015-04-30发布 2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
/ —
YST1024 2015
溅射用钽靶材
1 范围
、 、 、 、 、 、
本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运输 贮存
( ) 。
质量证明书和订货单 或合同 内容
, 、 、 、
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料 通过塑性加工 热处理 机械加工 焊接等方法
( )。
制造的溅射用钽靶材 以下简称钽靶材
2 规范性引用文件
。 ,
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文
。 , ( ) 。
件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件
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