YS/T 1025-2015电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材.pdf

ICS77.150.99 H 63 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1025 2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 Hih-urittunstenandtunstenallo sutterin taretused g p y g g yp g g ㅤㅤㅤㅤ inelectronicfilm 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1025 2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 1 范围 、 、 、 、 本标准规定了电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运 、 、 ( ) 。 输 贮存 订货单 或合同 等内容 , 。 本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材 以下简称高纯钨及钨合金靶 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 产品几何技术规范( ) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GBT1031 GPS / 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GBT1804 / 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GBT3850 / : 钨化学分析方法 第 部分 硫量的测定 燃烧电导法和高频燃烧红外吸收法 GBT4324.23 23 / : 钨化学分析方法 第 部分 氧量的测定 脉冲加热惰气熔融 红外吸收法 GBT4324.25 25 - / : 钨化学分析方法 第 部分 氮量的测定 脉冲加热惰气熔融 热导法和奈氏试 GBT4324.26 26 -