YS/T 15-2015硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法.pdf

ICS77.040 H21 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST15 2015 代替 / — YST15 1991 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 ㅤㅤㅤㅤ Testmethodforthicknessofeitaxiallaersanddiffusedlaers p y y b anlela stain y g p 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST15 2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 1 范围 本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。 本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻 , 。 率的硅外延层和扩散层厚度的测量 测量范围为 1 m~100 m μ μ 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 非本征半导体材料导电类型测试方法 GBT1550 / — 硅片电阻率测定 扩展电阻探针法 GBT6617 2009 / 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容 电压法 GBT14146 - / 半导体材料术语 GBT14264 / 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 GBT14847 ㅤㅤㅤㅤ 3 术语和定义 / 界定的术语和定义适用于本文件。 GBT14264 4 方法提要 , 。 试样经研磨获得一个与原始表面有很小倾角的斜面 通过化学染色在斜面上显露出各层间的界面