YS/T 1063-2015钼靶材.pdf

ICS77.160 H 72 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1063 2015 钼 靶 材 Molbdenumtaret y g ㅤㅤㅤㅤ 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1063 2015 钼 靶 材 1 范围 、 、 、 、 、 、 、 本标准规定了溅射镀膜用钼靶材的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书 ( ) 。 和合同 或订货单 内容 , 本标准适用于采用粉末冶金烧结方法和烧结后再压力加工方法制造的钼靶材 该靶材主要适用于 、 。 光伏太阳能面板 平面显示器和触摸屏面板制造等行业 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 钼及钼合金板 GBT3876 / 、 GBT4196 钨 钼条密度测定方法 / 、 、 GBT4197 钨 钼及其合金的烧结坯条 棒材晶粒度测试方法 / ( ) GBT4325所有部分 钼化学分析方法 / 钼及钼合金棒 GBT17792 / ㅤㅤㅤㅤ 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 YST837 - / 接触式超声纵波直射探伤方法 JBT4009 3 要求 3.1 产品分类 , 、 。 产品按供货状态分为烧结态和压力加工态两类 其制造方法 供货状态及形状见表 1 、 表 产品制造方法 供货状态及形状