pth化铜原理及现场管控.pptVIP

P T H;一. 前 言;二 . 流 程 表;清潔整孔;陽離子型界面活性劑例子;汙垢;清潔整孔槽體管控;酸 浸;微 蝕 槽;PTH 原理流程表;預 浸 槽;活 化 槽;鈀膠體之結構示意圖：;孔璧吸附鈀膠體之過程;;速 化 槽 ;Cl-;化 學 銅 槽;化學銅過程;化學銅銅槽管控規則;化銅藥水管控;Station monitor;;3.背光測量 1.每2小时取2~3个背光测试条同正常生产板于PI调整槽开始挂入 2. 经化铜槽后取出,水洗干净 背光級是用型號為#PM10AD的100X Olympus顯微鏡觀察所得，在觀察中依據以下指南： 1. 必須至少從原始取樣板上取5個具代表??的孔。 2. 在亮光區用100X顯微鏡觀察樣板上的孔。 3. 用6伏/20瓦特的燈泡照明。 4. 不用濾光鏡。 ;