X射线透射法测量膜厚.docVIP

第 28卷 第 4期 2008年 4月 物 理 实 验 PH YSICS EXPERIMENT ATION V ol. 28 N o. 4 A pr. , 2008 收稿日期 :2007 08 02; 修改日期 :2007 11 16 基金项目 :国家基础科学人才培养基金 (N o. J0630319 作者简介 :王 轲 (1985- , 男 , 四川成都人 , 中国科学技术大学理学院本科生 . 指导教师 :孙 晴 (1971- , 女 , 湖北襄樊人 , 中国科学技术大学理学院工程师 , 主要从事大 学物理实验教学工作 . X 射线透射法测量膜厚 王 轲 , 陶小平 , 孙 晴 , 张增明 , 孙腊珍 (中国科学技术大学 理学院 , 安徽 合肥 230026 摘 要 :薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有 关 , 而且与薄膜的光学性能甚至表面结构 密切相关 . 薄膜厚 度的测量精 确 有助于研究薄膜的物理性能 . 本文利用 X 射线在材料中传播的特征设计了大学 物理实验室测量薄膜厚度的方法 . 关键词 :膜厚 ; X 射线 ; 透射 中图分类号 :O 484. 5 文献标识码 :A 文章编号 :1005 4642(2008 04 0044 03 1 引 言 薄膜在现代工业中的应用越来越广泛 , 研究 人员对薄膜物理性能的测定也越来越感兴趣 . 现 在最普遍的测量膜厚的方法有 2种 :