07622模具材料及表面处理.ppt

普通高等教育“十一五”国家级规划教材高 等 职 业 教 育 机 电 类 规 划 教 材机 械 工 业 出 版 社 精 品 教 材 模具材料及表面处理 （第二版） 主编：吴兆祥 一、模具材料技术在模具工业中的地位 1、模具是重要的加工工艺装备 二、国内、外模具材料技术水平概况 1、国内概况 三、课程性质与学习要求 2、国外概况 第一章 模具材料概论 下图是化学沉积装置示意图 图5-7化学沉积装置示意图 1-进气系统 2-反应器 3-加热炉丝 4-加热炉体 5-工件 6-卡具 7-排气管 8-机械泵 9-废气处理系统 10-电源及测温仪表 基本工艺过程： 加热：950~1000℃ 供气：N2、H2、TiCl4、CH4、Ar 保温：8~13h 热处理：沉积处理后需重新进行淬回火 由于处理温度较高，工件变形较大。为了减小工件变形，简化后续热处理工艺，又出现了低温沉积工艺方法，如 PECVD、MTCVD。 CVD应用： 主要用于高碳钢和高碳合金钢模具，一般沉积TiC最佳厚度为3~10μm，沉积TiN为5~15μm，而且还可沉积Ti（C、N）薄膜，都可以大幅度提高模具寿命（见表5~9）。 2、物理气相沉积 将金属、合金或化合物放在真空室中蒸发（或称溅射），使这些气相原子或分子在一定条件下沉积在工件表面上的工艺称为物理气相沉积（简称P