精密、超精密加工机床设备.pptVIP

第5节 微量进给装置 电致伸缩传感器的结构和性能 两片成一对，中间通正电，两侧通负电，将很多对陶瓷片叠在一起，正极联在一起，负极联在一起。要提高电致伸缩传感器的动态特性，应减少传感器中的陶瓷片，减少传感器的电容量。 电致伸缩式微量进给装置的结构 第5节 微量进给装置 电致伸缩式微量进给装置的结构 第5节 微量进给装置 第6节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 一、激光在线检测系统的工作原理 超精密机床的工件的形状由机床的两坐标（z向和x向）的精密数控系统来控制工件和刀具的相对位置。精密数控系统现在采用闭环控制，即机床的运动部件的位移用装在机床内部的双频激光干涉测距系统随机精确检测，将数据反馈给精密数控系统，保证位移运动的高精度。 第6节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 二、MSG－325超精密机床的激光检测系统 美国HP公司生产的HP5501两坐标双频激光干涉测量系统。主轴箱作z向运动，刀架作x向运动。激光测量系统的分辨率为0.01微米，大部分激光光路采用封闭。 第6节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 三、三坐标测量机激光位移测量系统 第6节 机床运动部件位移的 激光在线检测系统 四、LODTM大型光学金刚石车床激光测量系统 第7节 机床的稳定性和减振隔振 一、机床的稳定性 1、各部件的尺寸稳定性好 1）采用尺寸稳定性好的材料制造机床部件； 2）各部件