【HORIBA】流量计S500Ver1说明书0902.pdfVIP

气体质量流量控制器 S500使用说明 (Ver.1.0) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目录 1. 概述1 2. 名词解释2 3. 工作原理5 4. 技术指标7 5. 产品安装9 6. 使用方法和操作步骤17 7. 警告和注意19 8. 故障判断和处理22 9. 附录：标定和不同气体的换算27 1. 概述 S500热式质量流量控制器能够在较大的量程范围内在线实时地精确控制气 流质量流量。利用气流流过不锈钢毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温 差方法，而测得气体质量流量；不同于测压力或测体积方法等类别流量计，其流 量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬 PID 时流量，并通过 电路实时控制比例电磁阀而精确控制流量，所以特别适用于过 程控制中在线实时的气体流量的精确测量和控制。 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器（流量计） (MassFlow Controller meter MFC 质量流量控制器（流量计） （ ）缩写为 MFM ) （ ），具备流量测量和流量控制两种功能。 1.3S500质量流量控制器 流量计 的特点( ) ☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。 ☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。 气阻较小，工作压力范围宽。 1 ☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。 线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和电容等为重要零部件，均执行严格的入厂标准。 ☆可任意角度安装。 ☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。 配合MT-50系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。 执行Q/CYHMT0001-2014企业标准 2 .名词解释 2.1 质量流量 以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换 / / mL/min SCCM 算成标准状态下的 体积 分钟 来表示。例如：毫升分钟即 （ 行 , / L/min SLM . 业标准） 升 分钟即 （ 行业标准） 标准状态为：气体温度—— 273.15K(0℃)； 气压——101325Pa(1atm) 2.2 F.S.(Full Scale) F.S.表示满量程值 2.3 准确度 满量程精度：控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程（F.S.）实际 2 值相比的百分比值。如：±1.0%F.S.(带后缀F.S.)。 2.4 标定条件 N 标准状态下，氮气 标定。如果某质量流量计标定为其它种类气体，则是经 2 过换算，而成为所标定的气体在标准状态下用 体积 分钟 表示的质量流量。/ 2.5 响应时间 ( :0100%) 当设定值发生阶跃变化例 ，气体流量将跟随改变，经过一段时间 将达到相对最终稳态值的误差范围之内，经过的这段时间就叫响应时间。 (T98)表示离最终稳态值相差±2%F.S.的时刻。 2.6 工作压力范围与耐压 工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内