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总电导率: n型半导体: p型半导体: 同理,可得: (4.43) (4.45) (4.45) Si材料的导带极值共有六个,每极值附近的等能面为旋转椭球面(如右图),沿旋转轴方向有效质量为ml,垂直方向的为mt。若硅中电子浓度以n表示,求当外加电场E方向沿[100]方向时硅中的电流密度大小。 [100]能谷中,沿x方向的迁移率 [010]和[001]能谷中,沿x方向的迁移率 电流密度J 应该是6个能谷中电流密度之和, 每个能谷单位体积有n/6个电子。 mc称为电导有效质量.电子和空穴的平均自由时间和有效质量不同,电子的迁移率大于空穴的迁移率 可见,影响迁移率的因素(简要分析): 1、有效质量:?不同方向具有不同有效质量; 2、平均自由时间?(散射几率): 载流子浓度(差)、迁移率(和) 非补偿半导体: 补偿半导体: 3、温度的影响 (仍从公式分析) 问题: 电子和空穴的迁移率通常是不同的(电子较大),原因? 实际晶体中采用的有效质量通常为电导有效质量,原因? 半导体中,存多种散射机制,一般只考虑其中的主要作用机制即可。 杂质散射 电离杂质散射: 未电离杂质散射(重掺杂时): 晶格散射 声学波散射: 光学波散射: 4.3.3 迁移率与杂质和温度的关系 散射: 晶格散射+掺杂+温度 若存在多种散射机制,显然,τ将发生变化,即迁移率将发生变化(被加速时间变化)。 散射几率: 除以q/mn*, 得到 ?1、?2、?3表示只有一种散射机制存在时载流子的迁移率 对硅、锗半导体,主要受声学波散射和电离杂质散射:分别用?s和?i表示 1)对高纯样品或杂质浓度较低的样品,迁移率随温度升高迅速减小,Ni很小,BNi/T3/2可忽略 2) 杂质浓度高的样品,在低温范围,迁移率随温度升高反而缓慢升高,BNi/T3/2项增大,杂质散射其主要作用,晶格振动影响较小。 高温范围,T增大, BNi/T3/2降低,AT3/2其主要作用,以晶格振动散射为主,故迁移率下降。 对砷化镓,除声学波、电离杂质散射外,光学波散射也起重要作用: 迁移率随杂质浓度、温度的变化情况 图4-13 (a)电子 (b)空穴 迁移率与杂质浓度的关系 图4-14 300K时硅、锗、砷化镓迁移率与浓度的关系 不同半导体,为何相同情况下(掺杂、温度),迁移率不同 2. 少数载流子迁移率与多数载流子迁移率 1)低掺杂浓度时,多子电子与少子电子迁移率相同;空穴的多子与少子迁移率也近似相同; 2)掺杂浓度增大时,电子、空穴的多子与少子迁移率都单调下降; 3)对给定掺杂浓度,电子、空穴的少子迁移率均大于多子迁移率; 4)相同掺杂浓度时,少子与多子迁移率的差别,随杂质浓度的增大而增大。 杂质浓度的增大,少子迁移率大于多子迁移率的原因: 重掺杂时杂质能级扩展为杂质能带,导致禁带变窄。 导带中电子除受电离杂质散射外,还被施主能级所俘获,一段时间后,被俘获的电子又被导带中参与导电。 电子在作漂移运动时,不断被施主能级所俘获、再释放、再俘获,使电子的漂移运动减慢。 N型硅,由于导带中电子有一部分在杂质带上运动,漂移速度减小,使多子的迁移率下降。价带中的空穴,在正常的价带中作漂移运动。因此,对少子迁移率影响不大。 补偿性半导体,载流子的浓度为两种载流子浓度差,但载流子的迁移率与两种杂质浓度之和(增加了碰撞的几率)有关。 补偿半导体中,有效载流子浓度? 导致迁移率升高或降低? 若NDNA,若杂质全部电离,表现为电子导电; n= ND-NA, §4.4 电阻率随温度变化情况 电阻率表达式: 可见,电阻率随温度的变化情况取决于:载流子浓度、迁移率及它们随温度的变化情况 N型半导体: p型半导体: 轻掺杂(1016~1018cm-3),室温下全电离,电阻率与杂质浓度成反比关系,对数坐标近似为直线。 杂质浓度越大,偏离线性关系。原因:1)室温下未全电离,尤其重掺杂。2)迁移率随杂质浓度增加将显著下降。 图4.16 硅电阻率与温度关系示意图 AB段:低温,忽略本征激发,载流子(杂质电离提供)随温度增加而增加。 杂质电离散射占优势,迁移率随温度升高而增加。 BC段:T继续增加(室温)至杂质全部电离。本征激发还不显著。载流子浓度几乎不随温度变化。 晶格振动增强,晶格散射逐渐占优势 迁移率:迁移率随温度升高而下降。 C段:T继续增加,本征激发渐占主导,载流子浓度迅速增加。电阻率随载流子的迅速增大而急剧下降 迁移率:迁移率下降。但下降幅度远低于本征激发导致载流子浓度增加的幅度。 §4.6 强电场下的效应 (μ) 载流子速度和迁移率关系: 1、电场不太强时,J与E服从欧姆定律
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