扩散工作的补充.pptxVIP

扩散重点;1.员工生产操作（图解）（暂定）;吸片;舟叉放入石英舟;放在舟托上时，石英舟内侧先接触舟托 ;选择需要运行的工艺流程;搬运过程中，石英舟外侧略微翘起 ;取片;记录数据;在员工生产的过程中我们工艺员需关注的几个方面： 员工的操作过程中，我们工艺员要监督，发现不规范的立即指出并督促改正。全过程做的无声操作。 关注扩散工序的碎片率，努力做到最低，能给出原因解释。 ;2.方块电阻测试（图示）;2 方块电阻测试;3：换源;3.3 穿好相应的安全防护用品（如：防毒面具???防酸服、乳胶手套和口罩） 3.4 小心拉开蓝色恒温箱的前半部分，注意：先打开一侧，再轻轻拿出；依次关掉源瓶的进出气手动阀门。;3.5小心从源瓶中拿出温度传感器，放在旁边安全位置。 ;3.6用扳手松开源瓶进出气口的蓝色聚四氟螺母，拉出白色PFA气管。 3.7 拿出空的源瓶，换上新源瓶，放在恒温箱内。 3.8 确认PFA气管内的玻璃衬套完好（否则更换新的），重新与源瓶接好，并用扳手旋紧蓝色聚四氟螺母。 3.9 注意：用扳手旋紧的力大小要适中，太大会损坏玻璃衬套；源瓶进出气接口的方向不能接反。 3.10 依次旋开源瓶出气、进气口的手动阀。准备做鼓泡试验 ;3.11 打开CMI触摸屏上相应管号的用户界面，选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Exh/Tube/To Tube”手动操作命令，打开通向石英管的气动阀 ;3.16 选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Volume” 手动操作命令设定流量值为100sccm。观察源瓶鼓泡情况，若30Sec内鼓泡正常，可进行下一步，若不正常，检查气路部分 。 ; 3.12 在CMI用户界面上，点击“Standby”按钮，取消测试。 ;3.13 温度传感器小心放出源瓶中，并确定放到底部。 3.14 小心的把蓝色恒温箱的前半部分与后半部分对齐，放好，并整理气管，用保温棉堵塞气管缝隙。;3.15 再次按下气源柜上“RUN”按钮，使其处于运行状态；换源结束 ;我们应该注意的几点： 不使用的石英舟必须存放在净化柜内，待下次使用前取出按要求清洗，并按要求做饱和。 POCL3源瓶放在源瓶房的抽风橱内保存。 更换源瓶时戴好防毒面具、防酸服及乳胶手套 ;4、石英制品的清洗;4.6 在清洗过程中，如果需要开动转轴的，必须要时刻确保石英制品或桨在槽中不致受到损伤。 4.7 整个清洗过程中，石英管清洗槽应处于密封状态，通风口应处于“ON”状态，避免气态HF外泄。 4.8 吹干石英制品及浆必须用N2，在竖起吹浆时，应放在固定支架上，地上必须有棉布铺垫防止滑倒。洗净、吹干后的石英制品装上之前保存在洁净柜中。洁净柜处于“ON”状态。 ;扩散间作业人员操作注意点;5、工艺卫生;工艺卫生我们工艺技术人员监督的方面;6、安全