传感器原理与应用重点.pptxVIP

第5章 压电式传感器 ;5.1 压电效应 ;图5-1 正（顺）压电效应示意图;反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。; 常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。; 如图所示为天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。;在晶体学中，可以把将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 ;如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 ;石英晶体具有压电效应，是由其内部分子结构决定的。图５-４是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子O2-。 ;图5-4 硅氧离子的排列示意图;当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图5-5（a）所示。 ;在y、z方向上的分量为: (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z= 0;当晶体受到沿x方向的拉力（Fx ＞0）作用时，其变化情况如图5-5（c）所示。电偶极矩P1增大， P2、 P3减小，此时它们在x、y、z三个方向上的分量为 (P1 +P2 +P3) x0 (P1+ P2+ P3)y =0 (P1 +P2 +P3)z =0 在x轴的正向出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。;可见，当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx 作用时，它在x方向产生正压电效应，而y、z方向则不产生压电效应。;晶体在z轴方向受力Fz的作用时，因为晶体???x方向和沿y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用下，晶体不产生压电效应。;3. 作用力与电荷的关系;即：;反之，若沿x方向对晶片施加电场，电场强度大小为Ex 。根据逆压电效应，晶体在x轴方向将产生伸缩，即：Δa=d11U x (5-4) ;若在同一切片上，沿机械轴y方向施加应力σy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 ;反之，若沿y方向对晶片施加电场，根据逆压电效应，晶片在y轴方向将产生伸缩变形，即;图5-7 石英晶体受力方向与电荷极性关系 ;① 当晶片受到x方向的压力作用时，qx只与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关； ② 沿机械轴y方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的； ③ 石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的； ④ 晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应； ⑤ 无论是正或逆压电效应，其作用力（或应变）与电荷（或电场强度）之间皆呈线性关系。;压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。;在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强，就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向基本变化，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性。 ;图5-8 压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 电极化 ;陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界 的自由电荷。这些自由 电荷与陶瓷片内的束缚 电荷符号相反而数量相 等，它屏蔽和抵消了陶 瓷片内极化强度对外界 的作用。;如果在陶瓷片