Q_WHAGS-006-2019电子级三甲基铝.pdf

Q 安 徽 亚 格 盛 电 子 新 材 料 有 限 公 司 企 业 标 准 Q/WHAGS006-2019 电子级三甲基铝 2019-1-1 发布 2019-1-1 实施 安徽亚格盛电子新材料有限公司 发布 Q/WHAGS006-2019 前 言 ――本标准是按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 ――本标准由安徽亚格盛电子新材料有限公司提出； ――本标准主要起草人：徐昕、俞冬雷； Q/WHAGS006-2019 电子级三甲基铝 1 范围 本标准规定了电子级三甲基铝的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于电子级三甲基铝（以下简称三甲基铝）产品质量。该产品主要用于生长化合物半导体 薄膜材料。 结构式： H C CH 3 3 Al CH3 分子式：C H Al 3 9 相对分子质量：72.09 （按2013 年国际相对原子质量） CAS RN ：75-24-1 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190-2009 危险货物包装标志 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB 2828-2003 国家抽样计划标准 GB/T 6678-2003 化工产品采样总则 GB 50073-2013 洁净厂房设计规范 GB 15603-1995 常用化学危险品贮存通则 GB 12463-2009 危险货物运输包装通用技术条件 3 要求 3.1 外观 无色有刺激性气味的透明液体。 3.2 无机杂质元素 纯度≥99.9999%。 Si，Mg，Cu，Fe，Zn 五种杂质元素含量总和≤1 μg/g 。 表1 无机杂质元素的限量要求 单位(μg/g) 元素 限量 1