Q_AELV 014-2019M80110型管式LPCVD设备企业标准.pdf

ICS 31.240 L95 Q/AELV 湖南红太阳光电科技有限公司企业标准 Q/AELV 014—2019 M80110 型管式LPCVD 设备 2019-10-30 发布 2019-10-30 实施 湖南红太阳光电科技有限公司 发 布 Q/AELV 014—2018 目 次 前 言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 缩略语 1 5 型号规格确认方法 2 6 要求 2 7 试验方法 4 8 检验规则 8 9 标志、包装、运输和贮存 9 I Q/AELV 014—2018 前 言 本标准依据GB/T1.1-2009 给定的规则编写。 本标准由湖南红太阳光电科技有限公司提出并归口。 本标准起草单位：湖南红太阳光电科技有限公司。 本标准主要起草人：吴德轶，成秋云，李明，张弥涛，周昌正。 本标准为首次发布。 II Q/AELV 014—2018 M80110 型管式LPCVD 设备 1 范围 本标准规定了M80110 型管式LPCVD 设备（以下简称设备）规格的确认、要求、试验方法、检验 规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准用于M80110 型管式LPCVD 设备的生产、检验和交货。 2 规范性引用文件 下列文件中的有关条款通过引用而成为本标准的条款。凡注日期或版次的引用文件，其后的任何修 改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，但提倡使用本标准的各方探讨使用其最新版本 的可能性。凡不注日期或版次的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T 191包装储运图示标志 GB/T 5226.1-2019 机械安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 6388-1986 运输包装收发货标志 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 GB/T 17626.2-2018 电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验 GB/T 17626.3-2016 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验 SJ/T 37-1996 电子工业专用设备型号编制与命名方法 SJ/T 10674-1995 涂料涂覆通用技术条件 SJ/T 20984-2008 化学气相淀积设备通用规范 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 LPCVD：Low Pressure Chemical Vapor Deposition LPCVD 中文全称为低压化学气相淀积，是在20～300Pa左右的反应压力下，通过气体的化学反应生 成固体反应物，并使其淀积在硅片表面形成薄膜的工艺。 4 缩略语 4.1 SV：Set Value 设定值。 1