传感器第九章自动检测共性技术及新发展.ppt

;;;;9.1.1 系统误差的数字修正方法;1.利用校正曲线修正系统误差;;9.1.1 系统误差的数字修正方法;2．用神经网络修正系统误差; 传感器模型 ; 通常传感器模型及其反函数是复杂的，难以用数学式子描述。 但是，可以通过实验测得传感器的实验数据集 ：;;;9.1.1 系统误差的数字修正方法;3．非线性特性的校正方法;非线性校正方法;;;;利用输入数据集( ) 和输出yi，经神经网络的学习算法 不断调整权值Wn(n=0,1,2,3)。 ;;9.1.2 随机误差的数字滤波方法;;;1．限幅滤波 ;;2．平滑滤波 ;3．算术平均滤波法 ;由一元函数求极值的原理，可得;对N次测量进行算术平均后的信噪比为;4．递推平均滤波法 ;5．加权移动平均滤波法 ;N项加权移动平均滤波算法为;;6．一阶惯性滤波 ;设采样时间间隔足够小，将式(9．1．24)离散为 ;7．复合滤波 ;;;9.1.3 动态补偿方法;;1．零极点配置法 ;;;;;;2. 系统辨识设计方法 ;;;;MEMS技术是多学科交叉的新兴领域，涉及精密机械、微电子材料科学、微细加工、系统与控制等技术学科和物理、化学、力学、生物学等基础学科。包含微传感器、微执行器及信号处理、控制电路等，利用三维加工技术制造微米或纳米尺度的零件、部件或集光机于一体，完成一定功能的