T∕ZZB 0093-2016 集成电路用高纯钛溅射靶材团体标准.pdf

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E D A M G N A I J E H Z T/ZZB 0093—2016 目 次 前 言 II  1 范围 1  2 规范性引用文件 1  3 术语、定义 2  4 基本要求 2  5 技术要求 3  6 试验方法 4  E 7 检验规则 5  D 8 标志、包装、运输、贮存及质量证明书 6  A 9 质量承诺 7  M G N A I J E H Z I T/ZZB 0093—2016 前 言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由浙江省浙江制造品牌建设促进会提出并归口。 本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司。 本标准参与起草单位:宁波创润新材料有限公司。 本标准主要起草人:姚力军、朱东锋、潘杰、王学泽、宋佳、袁海军、钟伟华、钱红兵、吴景晖、 陈勇军、袁倩靖、陈胜洁、唐越越、李小萍、喻洁、赵玉林、郑立丁。 本准为首次发布。 E 本标准由浙江省标准化研究院负责解释。 D A M

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