传感器和检测技术第02章 电阻式传感器 41页.pptVIP

第2章 电阻式传感器 ;2.1 电阻应变片 ;?A=A‘-A=л[（d-?d）2-d2]/4=2?d/d (略去高阶无穷小）。再引进力学中的泊松比 ； 故 ；最后得： ； K0：应变灵敏系数。其中：（1+2μ）是由几何尺寸改变引起的，金属导体以此为主； 表示是由材料的电阻率随应变所引起的变化，半导体材料以此为主。 ; 2) 箔式应变片 该类应变片的敏感栅是通过光刻、腐蚀等工艺制成。箔栅厚度一般在0.003-0.01mm之间，它的结构如图2.1.1b所示。箔式应变片与丝式应变片比较其面积大，散热性好，允许通过较大的电流。由于它的厚度薄，因此具有较好的可绕性，灵敏度系数较高。箔式应变片还可以根据需要制成任意形状，适合批量生产。 3)金属薄膜应变片 它是采用真空蒸镀或溅射式阴极扩散等方法，在薄的基底材料上制成一层金属电阻材料薄膜以形成应变片。这种应变片有较高的灵敏度系数，允许电流密度大，工作温度范围较广。 ; 2）薄膜型半导体应变片 这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成，其结构示意图见图2.1.3。