硅烷塔操作规程.doc

精品文档 . 硅烷燃烧塔操作规程 硅烷塔简介： HWR型不锈钢硅烷燃烧净化塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要处理生产线PECVD工序产生的废气。硅烷塔采用双风机抽风。 开机前检查： 检查电机、水泵电源线是否正常； 检查中和液液位是否在规定范围之内； 检查补新风阀开度是否正常； 检查压缩空气、氮气流量是否正常。 开机时： 打开相应风阀，点击风机运行按钮开机；、 风机与水泵开关顺序：先开水泵后开风机。 开机后： 检查风机运转状况是否正常； 检查水泵运转情况及流量是否正常； 检查硅烷塔负压是否正常，正常必须保证在200Pa左右。 关机时： 风机与水泵关闭顺序：先关风机，再关水泵。 巡检要求： 每三个小时对硅烷塔进行检查； 查看风机运转是否正常； 检查补新风阀开度是否正常； 检查水泵运行是否正常（包括补水流量等）。