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化 学 气相沉积 1 前言 化 学 气 相 沉 积 CVD(Chemical Vapor Deposition)是利用加 热 ， 等 离 子 体 激 励 或 光 辐 射 等 方 法 ， 使 气 态 或 蒸 汽 状 态 的 化 学 物 质 发 生 反 应 并 以 原 子 态 沉 积 在 置 于 适 当 位 置 的 衬 底 上 ， 从 而 形 成 所 需 要 的 固 态 薄 膜 或 涂 层 的 过 程 。 一 般 地 说 ， 化 学 气 相 沉 积 可 以 采 用 加 热 的 方 法 获 取 活 化 能 ， 这 需 要 在 较 高 的 温 度 下 进 行 ； 也 可 以 采 用 等 离 子 体 激 发 或 激 光 辐 射 等 方 法 获 取 活 化 能 ， 使 沉 积 在 较 低 的 温 度 下 进 行 。 另 外 ， 在 工 艺 性 质 上 ， 由 于 化 学 气 相 沉 积 是 原 子 尺 度 内 的 粒 子 堆 积 ， 因 而 可 以 在 很 宽 的 范 围 内 控 制 所 制 备 薄 膜 的 化 学 计 量 比 ； 同 时 通 过 控 制 涂 层 化 学 成 分 的 变 化 ， 可 以 制 备 梯 度 功 能 材 料 或 得 到 多 层 涂 层 。 在 工 艺 过 程 中 ， 化 学 气 相 沉 积 常 常 在 开 放 的 非 平 衡 状 态 下 进 行 ， 根 据 耗 散 结 构 理 论 ， 利 用 化 学 气 相 沉 积 可 以 获 得 多 种 晶 体 结 构 。 在 工 艺 材 料 上 ， 化 学 气 相 沉 积 涵 盖 无 机 、 有 机 金 属 及 有 机 化 合 物 ， 几 乎 可 以 制 备 所 有 的 金 属 （ 包 括 碳 和 硅 ） ， 非 金 属 及 其 化 合 物 （ 碳 化 物 、 氮 化 物 、 氧 化 物 、 金 属 间 化 合 物 等 等 ） 沉 积 层 。 另 外 ， 由 于 气 态 原 子 或 分 子 具 有 较 大 的 转 动 动 能 ， 可 以 在 深 孔 、 阶 梯 、 洼 面 或 其 他 形 状 复 杂 的 衬 底 及 颗 粒 材 料 上 进 行 沉 积 。 为 使 沉 积 层 达 到 所 需 要 的 性 能 ， 对 气 相 反 应 必 须 精 确 控 制 。 正 是 由 于 化 学 气 相 沉 积 在 活 化 方 式 、 涂 层 材 料 、 涂 层 结 构 方 面 的 多 样 性 以 及 涂 层 纯 度 高 工 艺 简 单 容 易 进 行 等 一 系 列 的 特 点 ， 化 学 气 相 沉 积 成 为 一 种 非 常 灵 活 、 应 用 极 为 广 泛 的 工 艺 方 法 ， 可 以 用 来 制 备 各 种 涂 层 、 粉 末 、 纤 维 和 成 型 元 器 件 。 特 别 在 半 导 体 材 料 的 生 产 方 面 ， 化 学 气 相 沉 积 的 外 延 生 长 显 示 出 与 其 他 外 延 方 法 （ 如 分 子 束 外 延 、 液 相 外 延 ） 无 与 伦 比 的 优 越 性 ， 即 使 在 化 学 性 质 完 全 不 同 的 衬 底 上 ， 利 用 化 学 气 相 沉 积 也 能 产 生 出 晶 格 常 数 与 衬 底 匹 配 良 好 的 外 延 薄 膜 。 此 外 ， 利 用 化 学 气 相 沉 积 还 可 生 产 耐 磨 、 耐 蚀 、 抗 氧 化 、 抗 冲 蚀 等 功 能 涂 层 。 在 超 大 规 模 集 成 电 路 中很多薄膜都是采用 CVD 方法制备。经过 CVD 处理 后 ， 表 面 处 理 膜密着性约提高 30%，防止高强力钢的弯曲，拉伸等成形 时产生的刮痕。 - 1 - 2 化学气相沉积原理 化学气相沉积过程分为四个重要阶段；反应气体向基体表面扩散，反应气体 吸附于基体表面，在基体表面上产生的气相副产物脱离表面，留下的反应产物形 成覆层。利用化学气相沉积制备薄膜材料首先要选定一个或几个合理的沉积反应。 根据化学气相沉淀过程的需要，所选择的化学反应通常应该满足： 反应物质在室温或不太高的温度下最好是气态，或由很高的蒸气压，且 有很高的纯度； 通过沉积反应能够形成所需要的材料沉积层； 反应易于控制。 用于化学气相沉淀的化学反应有多种类型，其反应原理与特点介绍如下： （1）热分解反应 气态氢化物、羰基化合物以及金属有机化合物与高温衬底表面接触，化合物高 温分解或热分解沉积而形成薄膜。 例如：SiH Ni(CO) 4  4 Si+2H Ni+4CO  2 （2）氧化反应 含薄膜元素的化合物与氧气一同进入反应器，形成氧化反应在陈地上沉积薄膜。 例如：SiH  4  +O