无机材料制备技术讲解.ppt

? 也可以利用氢化物或有机烷基化合物的不稳 定性，经过热分解后立即在气相中和其它原 料气反应生成固态沉积物， 例如： ? 此外还有一些金属的碳基化合物，本身是气态或 者很容易挥发成蒸气经过热分解，沉积出金属薄 膜并放出等适合 CVD 技术使用，例如 ： 氧化还原反应沉积 ? 一些元素的氢化物或有机烷基化合物常常是气态的 或者是易于挥发的液体或固体．便于使用在 CVD 技 术中。如果同时通入氧气，在反应器中发生氧化反 应时就沉积出相应于该元素的氧化物薄膜。例如： ? 卤素通常是负一价，许多卤化物是气态或易挥发的物 质，因此在 CVD 技术中广泛地将之作为原料气。要 得到相应的该元素薄膜就常常带采用氢还原的方法。 例如： 水热与溶剂热合成基础 ? 水热与溶剂热合成化学与溶液化学不同，它是研 究物质在高温和密闭或高压条件下溶液中的化学 行为与规律的化学分支 ? 水热与溶剂热合成是指在一定温度 (100-1000 ℃ ) 和压强 (1-100MPa) 条件下利用溶液中物质化学反 应所进行的合成 水热与溶剂热合成基础 ? 水热与溶剂热合成与固相合成研究的差别在于 “反应性”不同。这种“反应性”不同主要反映 在反应机理上，固相反应的机理主要以界面扩散 为其特点，而水热与溶剂热反应主要以液相反应 为其特点 ? 通过水热与溶剂热反应可