椭偏仪操作规程.docVIP

椭偏仪操作规程 一.目的 使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n). 二.适用范围 适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪 三.设备主要性能及相关参数 3.1 设备型号：SE 400advanced 3.2 设备构成： A 光学系统部分：由支架、定位显微镜、线偏振光发射器（包括632.8nm激光源）、椭圆偏振光接受和分析器组成。此部分完成整个光学部分的测试。 B PC机部分。此部分完成数据的分析和输出。 四.运行前的检查 主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。 五. 设备操作 1