传感器原理及应用第三版第3章.pptVIP

传感器原理及应用 第三章 电容式传感器 3-1 电容式传感器的工作原理 最简单的电容器：用两金属板作电极，中间为某种介质，若 忽 略边缘效应时 (S≥d) （结构决定电容大小） 其中： C —— 电容量（ PF ） S —— 极板间相互覆盖面积（ ） D —— 极板间距离（ cm ） —— 极板间介质的介电常数（ ） —— 真空的介电常数 （ PF/cm ） —— 介质相对介电常数 ，对于空气介质 上式也可写成： 由式可见，在 ， S ， d 三个参述中，保持两个固定，改变另一 参数就可改变电容 C 值且为单值函数。 上一页 下一页 返 回 d s d S C r ? ? ? 0 ? ? ? r ? ? ? 0 ? 0 ? ? ? 6 . 3 1 0 ? 0 ? ? ? ? r r ? 1 ? r ? ) ( 6 . 3 PF d s C r ? ? ? 2 cm r ? 根据改变参数不同，电容传感器一般分三种类型 一、变面积（ S ）型（多用于检测位移） A ：角位移式电容传感器 当动片有一角位移 时，覆盖面积 S 发生变化，电容 C 随之改变 当 ℃时 S ：半圆面积 当 ℃时 电容 与角位移 呈线性关系。 灵敏度 ： 上一页 下一页 返 回 0 ? ? ) ( 6 . 3 0 PF d s C r ? ? ? 0 ? ? ) / 1 ( 6 . 3 ) / 1 (