GB/T 38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf

犐犆犛０１．０４０．３９ 犖 １０ 中华人 民共和 国国家标准 ／ — 犌犅犜３８６１４ ２０２０ 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的 纳米定位与扫描平台测量方法 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狀犪狀狅 狅狊犻狋犻狅狀犻狀 犪狀犱狊犮犪狀狀犻狀 狊狋犪犲 狆 犵 犵 犵 犫犪狊犲犱狅狀犳犾犲狓狌狉犲犺犻狀犲犿犲犮犺犪狀犻狊犿犪狀犱 犻犲狕狅犪犮狋狌犪狋狅狉 犵 狆 ２０２００４２８发布 ２０２０１１０１实施 国家 市场监督管理总 局