Q_150203 NMTW 001-2020多晶硅产品外源碳的分析方法.pdf

Q/NMGTW 内蒙古通威高纯晶硅有限公司企业标准 Q/NMGTW-QB01 多晶硅产品外源碳分析方法 2019 10 23 2019年10 月22 日发布 年 月 日实施 Q/NMGTW-QB01 前 言 本标准依据GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》编写。 本标准在制定时考虑了 《GB/T 19001-2016质量管理体系 要求》、 《GB/T24001-2004环境管 理体系 要求及使用指南》、《GB/T28001-2011职业健康安全管理体系 要求》及《GB/T23331-2009 能源管理体系 要求》标准的要求，使本规范在实施时能更好的与相关体系有机结合。 本标准由内蒙古通威高纯晶有限公司提出。 本标准由内蒙古通威高纯晶有限公司归口。 本标准起草单位：内蒙古通威高纯晶有限公司起草。 本标准主要起草人： 本规范于2019-08-22日发布，2019-08-23日正式实施。 第 2 页 共 4 页 Q/NMGTW-QB01 多晶硅产品外源碳检测方法 1 范围 本标准规定了太阳能级多晶硅的产品外源碳的检测方法。 本标准适用于内蒙古高纯晶硅有限公司生产的多晶硅外源碳的检测，检测范围 5ug/g-50ug/g。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T25074 太阳能级多晶硅 GB/T 14599 纯氧、高纯氧和超纯氧 GB/T25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级 3 原理 试样中的碳经过富氧条件下的高温加热，氧化为二氧化碳气体。该气体经处理后进入相应的吸收池， 被相应的红外辐射进行吸收，由探测器转发为信号，经计算机处理输出结果 4 试剂和材料 4.1 纯铁助溶剂：SES-C 型。 4.2 锡助溶剂。 4.3 不锈钢316标准物质：碳含量0.036%。 4.4 金属钨：LW-1。 4.5 高纯氩：符合GB/T14599 的要求 。 4.6 陶瓷坩埚 。 5 试验设备 5.1 高频红外碳硫分析仪 测量范围：C: 0.005% - 5.0%，S: 0.005% - 3.5% 分析时间：25 － 50秒 6 实验条件 6.1 环境 环境温度 15-25℃，环境符合GB/T25915.1 中相关要求。 6.2 器皿 坩埚为陶瓷材料，易吸水，本身具有碳、硫空白。使用前必须在马弗炉中于1200℃灼烧2小时，冷 却后取出置干燥器中保存，干燥器口、盖密封处不得涂油脂之类的物质，以免污染坩埚 3 4 第 页 共 页 Q/NMGTW-QB01 7 样品制备 颗粒状样品为了保证样品检测的平行性，应当在实验前将样品使用研磨机磨成粉末，并在测试前使用 磁铁将研磨过程中引入的铁屑吸取干净。 8 测定 8.1 仪器校准 打开碳硫分析仪电源，氧气、氮气源，进行仪器预热，调节氮气压力0.4-0.5MPa，氧气压力0.08MPa， 打开计算机，进入软件操作界面，使用 （