GB/T 26068-2018硅片和硅锭载流子复合寿命的测试　非接触微波反射光电导衰减法.pdf

ICS 77 .040 H 21 中华人民共和国国家标准 GB/T 26068-2018 代替 GB/T 26068- 2010 硅片和硅链载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法 Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots-Non-contact meas11rement of photoconductivity decay by microwave reflectance method 2018-12-28 发布 2019-11-01 实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/ 'I' 26068-20 18 目 次 前言 － m 1 范围 · 2 规范性引用文件 ………·· 3 术语和定义 …………· 4 方法原理 ………………………………………………………………………………………………… 2 5 干扰因素 ………………………………………………………………………………………………… 2 6 仪器设备 ………………………………………………………………………………………………… 4 7 试剂 ……………………………………………………………………………………………………… 6 8 样品 ……………………………………………………………………………………………………… 6 9 测试步骤 ………………………………………………………………………………………………… 7 10 精密度…………………………………………………………………………………………………… 9 11 试验报告………………………………………………………………………………………………… 9 ’ nu t A 附录 A （资料性附录） 注入水平的修正……··