GB/T 4059-2018硅多晶气氛区熔基磷检验方法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT4059 2018 代替 / — GBT4059 2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法 Testmethodfor hoshoruscontentin olcrstallinesiliconb zone-meltin p p p y y y g methodundercontrolledatmoshere 国家标准ㅤ可打印ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 p 2018-12-28发布 2019-11-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT4059 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》, / — , 本标准代替 GBT4059 2007硅多晶气氛区熔基磷检验方法 与 GBT4059 2007相比 除编 , : 辑性修改外 主要技术变化如下 ———基磷含量的测定范围由“ -9 -9”修改为“ 13 -3 13 -3” 0.002×10 ~100×10 0.01×10 cm ~500×10 cm ( , ); 见第 章 年版的第 章 1 2007 1 ——— , / 、 / 、 / 、 / , 调整了规范性引用文件 删除了 GBT1553GBT1554GBT1555GBT13389增加了 / 、 / 、 / 、 / 、 / — 、 / 、 GBT1550GBT 4060GBT 4842GBT 8979GBT 11446.1 2013GBT 24574 / 、 / — ( , ); 见第 章 年版的第 章 GBT24581 GBT25915.1 2010 2 2007 2 ———