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X- 射线光电子能谱 X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) z 电子能谱是60年代末和70年代初才发展起来的 一种研究表面的新型物理方法，它是建立在电 子技术，弱信号检测技术和超真空技术发展的 基础之上的。 z 一定量的电子，X射线或紫外光等作用于样 品，将样品表面原子中不同能级的电子激发成 自由电子，这些电子带有样品表面的信息，并 具有特征能量，收集这类电子并研究它们的能 量分布，这就是电子能谱分析。 z XPS是当代谱学领域中最活跃的分支之一，虽然只有十几年的 历史，但其发展速度很快，在电子工业、化学化工、能源、冶 金、生物医学和环境中得到了广泛应用。除了可以根据测得的 电子结合能确定样品的化学成份外，XPS最重要的应用在于确 定元素的化合状态。 z 当元素处于化合物状态时，与纯元素相比，电子的结合能有一 些小的变化，称为化学位移，表现在电子能谱曲线上就是谱峰 发生少量平移。测量化学位移，可以了解原子的状态和化学键 的情况。 例如Al2O3中的3价铝与纯铝（0价）的电子结合能存在大约3电 子伏特的化学位移，而氧化铜(CuO)与氧化亚铜(Cu2O)存在大约 1.6电子伏特的化学位移。这样就可以通过化学位移的测量确定 元素的化合状态，从而更好地研究表面成份的变化情况。 History ? X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能 探