- 1、本文档共14页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
中国电子科技集团公司第四十八研究所
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统
安 全 使 用 说 明 书
中国电子科技集团公司第四十八研究所
2007年 2月
中国电子科技集团公司第四十八研究所
目 录
1.使用环境要求······················· (1)
2.工作条件要求······················· (1)
3.设备调试时注意事项··················· (1)
4.设备使用注意事项 ···················· (2)
5.运行 H/O 合成工艺注意事项··············· (4)
6.真空系统注意事项 ···················· (5)
7.化学品的安全使用 ···················· (6)
8.气体的安全使用······················ (7)
9. 保养与维修························ (8)
10、碳化硅制品使用说明 ·················· (8)
11、石英器件使用说明····················(11)
I
中国电子科技集团公司第四十八研究所
1、使用环境要求
1.1 环境温度 5~40℃。
1.2 相对湿度<75%。
1.3 海拔不超过 2500m。
1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。
1.5 环境洁净度不劣于:1000 级。
1.6 有良好的抽风排毒系统,每管抽风量 3000~5000L/min。
1.7 无高频及较强的磁场干扰。
2、工作条件要求
2.1 供电:3Ф+中线+地线,50HZ;
设备功率:
序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率
1 开管 Ф300mm 3 管/台 105KVA
2 开管 Ф300mm 4 管/台 140KVA
3 闭管 Ф330mm 3 管/台 128KVA
4 闭管 Ф330mm 4 管/台 170KVA
5 闭管 Ф350mm 4 管/台 195KVA
2.2 供水:3/4"管供自来水,水压0.1~0.3MPa,冷却用;去离子水,清洗及工
艺用。
2.3 供气:N2、O2 、H2、压缩空气,进气压力0.4~0.6Mpa,工艺气体纯度 99.99﹪。
2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。
2.5 设备应接入专用接地线,接地电阻≤3 Ω。
3、调试时注意事项
3.1 逐柜、逐层上电,检查各部件上电情况,注意检查机壳是否带电。
3.2 控制柜及气源柜上电,检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、
电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。在计算机手动操作屏上逐一试
验,看对各器件的控制是否正确无误。
3.3 推舟净化柜中,逐一检查照明、排风及净化送风是否正常。配合计算机检查自
动进出舟、行程限位是否正确。
3.4 检查可控硅散热风扇及水冷散热器排热风扇等工作是否正常。
3.5 检查水冷散热器接头及水压开关、恒温槽水冷管道(如装备)接头是否漏水。
1
中国电子科技集团公司第四十八研究所
3.6 按下炉体加热“开”按钮,炉子开始升温,观察温控仪温度显示情况及功率部
件、炉体等有无异常,尤其要仔细检查炉体的引出接头及引线是否与炉壳、机壳短
路(使用中要长期留心注意,因高温下,接头与瓷件易产生变形位移)。
3.7 温控仪除温度设定值必要时由工艺人员修改外,各窗口内的其它参数都不得随
意改动,否则会引起控温精度下降甚至造成炉温失控。
3.8 推舟安装注意事项
1)整个装调过程均应小心操作,在 SiC 桨未调整好以前,切忌快速进出舟,以防损
坏器件。
2)考虑到装满工艺片后,SiC桨会向下有少量弯曲,为防止桨触碰石英管底,空载
调试时,可调成让桨的前端适当上扬(上扬幅度≤10mm)。
3)调好的石英炉门在进舟到位后,其压缩量应控制在 5~15mm 之间,太小关不紧,
太大有可能压坏石英炉门。
4)SiC 桨装调好以后,各定位螺钉均不得随意旋动。清洗石英管或 SiC 桨时,只需
拧松桨座上盖的四个压紧螺钉便可将桨抽出。
5)桨的位置调好以后,应将调节桨俯仰的上下螺母做好标记,防止在清洗桨的过程
中,不小心动了该螺母而引起桨与石英管壁擦碰甚至造成器件损坏。
4、设备使用中注意事项
4.1 装片和取片时请按下电控柜前面板上的“净化”按钮(也可在自动运行程序
中加入净化风机的开、关选项,使其运行到相应工艺步聚时自动开启和关闭),确保
在操作台范围内形成高洁净区,同时可防止出舟时的高温烤坏高效过滤器及导轨前
限位开关。打开照明灯请按下电控柜前面板上的“照明”按钮,开启加热炉排风扇
请按下电控柜柜前面板上的“排风”按钮,正常工艺中该按钮不要关闭,以保持炉
体柜能得到良好的散热。
您可能关注的文档
- 考评人员资格技能考核试卷计算机程序设计员(样例).doc
- 考前密版民诉必备.doc
- 考前模拟试题(建筑技术).doc
- 考满分gre镇考机经词40.doc
- 考研高等数学实用公式大全.doc
- 考研核心词汇2000整理版版1.doc
- 考研数学常用积分公式.doc
- 考研《315化学(农)》习题课综合练习及答案.doc
- 考研宝典之医学思维导图【药理学】全套完整版.doc
- 考研数学二模拟试题2及答案解析.doc
- 揭秘元宵灯工艺-感受传统手工艺的魅力.pptx
- 法规解读-总结汇报-工作计划-理解法规应对挑战.pptx
- 医疗器械消毒标准及监管政策-医疗器械监管专家.pptx
- 破茧成蝶:学生创业指南-揭秘成功创业者的秘密武器.pptx
- 环保公益论坛演讲-环保专家的研究成果.pptx
- DB5115T68-2024 地理标志产品质量要求 南溪豆腐干 (2).pdf
- DB61T-“四位一体”集雨补灌技术规程 第7部分:运行管理.pdf
- DB2306T147-2021塑料大棚西兰花秋延后生产技术规程.pdf
- DB5303T8.1-2015 师宗铁皮石斛种植综合标准第1部分:种植环境.pdf
- DB2101T0040-2021大葱生产技术规程.pdf
文档评论(0)