扩散炉安全使用使用说明书.doc

中国电子科技集团公司第四十八研究所 M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统 安 全 使 用 说 明 书 中国电子科技集团公司第四十八研究所 2007年 2月 中国电子科技集团公司第四十八研究所 目 录 1．使用环境要求······················· （1） 2．工作条件要求······················· （1） 3．设备调试时注意事项··················· （1） 4．设备使用注意事项 ···················· （2） 5．运行 H/O 合成工艺注意事项··············· （4） 6．真空系统注意事项 ···················· （5） 7．化学品的安全使用 ···················· （6） 8．气体的安全使用······················ （7） 9． 保养与维修························ （8） 10、碳化硅制品使用说明 ·················· （8） 11、石英器件使用说明····················（11） I 中国电子科技集团公司第四十八研究所 1、使用环境要求 1.1 环境温度 5～40℃。 1.2 相对湿度＜75％。 1.3 海拔不超过 2500m。 1.4 电网电压波动不超过额定值±10%。 1.5 环境洁净度不劣于：1000 级。 1.6 有良好的抽风排毒系统，每管抽风量 3000～5000L/min。 1.7 无高频及较强的磁场干扰。 2、工作条件要求 2.1 供电：3Ф＋中线+地线，50HZ； 设备功率： 序号 反应管形式 炉膛内径 单台管数 单台总功率 1 开管 Ф300mm 3 管/台 105KVA 2 开管 Ф300mm 4 管/台 140KVA 3 闭管 Ф330mm 3 管/台 128KVA 4 闭管 Ф330mm 4 管/台 170KVA 5 闭管 Ф350mm 4 管/台 195KVA 2.2 供水：3／4＂管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗及工 艺用。 2.3 供气：N2、O2 、H2、压缩空气，进气压力0.4～0.6Mpa，工艺气体纯度 99.99﹪。 2.4 气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。 2.5 设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。 3、调试时注意事项 3.1 逐柜、逐层上电，检查各部件上电情况，注意检查机壳是否带电。 3.2 控制柜及气源柜上电，检查计算机、温控仪、温度保护仪、各控制开关、指示灯、 电磁阀、质量流量控制器、流量计电源等是否正常。在计算机手动操作屏上逐一试 验，看对各器件的控制是否正确无误。 3.3 推舟净化柜中，逐一检查照明、排风及净化送风是否正常。配合计算机检查自 动进出舟、行程限位是否正确。 3.4 检查可控硅散热风扇及水冷散热器排热风扇等工作是否正常。 3.5 检查水冷散热器接头及水压开关、恒温槽水冷管道（如装备）接头是否漏水。 1 中国电子科技集团公司第四十八研究所 3.6 按下炉体加热“开”按钮，炉子开始升温，观察温控仪温度显示情况及功率部 件、炉体等有无异常，尤其要仔细检查炉体的引出接头及引线是否与炉壳、机壳短 路（使用中要长期留心注意，因高温下，接头与瓷件易产生变形位移）。 3.7 温控仪除温度设定值必要时由工艺人员修改外，各窗口内的其它参数都不得随 意改动，否则会引起控温精度下降甚至造成炉温失控。 3.8 推舟安装注意事项 1）整个装调过程均应小心操作，在 SiC 桨未调整好以前，切忌快速进出舟，以防损 坏器件。 2）考虑到装满工艺片后，SiC桨会向下有少量弯曲，为防止桨触碰石英管底，空载 调试时，可调成让桨的前端适当上扬（上扬幅度≤10mm）。 3）调好的石英炉门在进舟到位后，其压缩量应控制在 5～15mm 之间，太小关不紧， 太大有可能压坏石英炉门。 4）SiC 桨装调好以后，各定位螺钉均不得随意旋动。清洗石英管或 SiC 桨时，只需 拧松桨座上盖的四个压紧螺钉便可将桨抽出。 5）桨的位置调好以后，应将调节桨俯仰的上下螺母做好标记，防止在清洗桨的过程 中，不小心动了该螺母而引起桨与石英管壁擦碰甚至造成器件损坏。 4、设备使用中注意事项 4.1 装片和取片时请按下电控柜前面板上的“净化”按钮（也可在自动运行程序 中加入净化风机的开、关选项，使其运行到相应工艺步聚时自动开启和关闭），确保 在操作台范围内形成高洁净区，同时可防止出舟时的高温烤坏高效过滤器及导轨前 限位开关。打开照明灯请按下电控柜前面板上的“照明”按钮，开启加热炉排风扇 请按下电控柜柜前面板上的“排风”按钮，正常工艺中该按钮不要关闭，以保持炉 体柜能得到良好的散热。