Q_DBKS 001-2019真空磁控溅射镀膜设备.pdf

湘潭宏大真空技术股份有限公司企业标准 Q/DBKS 001-2019 ————————————————————————————————— 真空磁控溅射镀膜设备 2019-11-1 发布 2019-11-1 实施 湘潭宏大真空技术股份有限公司 发布 Q/DBKS 001-2019 目 次 前言……………………………………………………………………………………………………… Ⅱ 1 范围………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件…………………………………………………………………………………… 1 3 型号………………………………………………………………………………………………… 1 4 术语和定义………………………………………………………………………………………… 2 5 技术要求…………………………………………………………………………………………… 3 6 试验方法…………………………………………………………………………………………… 5 7 检验规则…………………………………………………………………………………………… 6 8 标志、包装、运输和贮存………………………………………………………………………… 7 I Q/DBKS 001-2019 前 言 本标准文本、格式、字体、技术条款的设置，依据GB/1.1-2009 制定，标准中主要技术参数依据 GB/T 6070-2007 及GB/T 7673-2011 相关国家标准和行业标准制定。 本标准由湘潭宏大真空技术股份有限公司提出； 本标准由湘潭宏大真空技术股份有限公司负责起草； 本标准由湘潭宏大真空技术股份有限公司归口。 本标准主要起草人：黄国兴、孙桂红、黄乐、祝海生 II 真空磁控溅射镀膜设备 1 范围 本标准规定了真空磁控溅射镀膜设备的型号和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、 包装、运输和贮存等。 本标准适用于真空磁控溅射镀膜设备的生产、检验和销售。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB/T 986-1988 埋弧焊焊缝坡口的基本型式和尺寸 GB/T 3163-2007 真空技术术语 GB/T 6070-2007 真空技术法兰尺寸 GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件 GB/T 13306-2011 标牌 JB/T 1090-1991 J 型真空用橡胶密封圈型式及尺寸 JB/T 7673-2011 真空技术真空设备型号编制方法 3 型号 3.1 型号释义 单位代号 基本型号 辅助型号 H D …… C K 1 8 0 0