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Q_FJJA 002-20204寸钽酸锂晶棒.pdf

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Q/FJJA 福建晶安光电有限公司企业标准 Q/FJJA 002-2020 4 寸钽酸锂晶棒 2020-03-24 发布 2020-03-24 实施 福建晶安光电有限公司发布 Q/FJJA 002-2020 前 言 本标准所有内容符合强制性国家标准、行业标准及地方标准,若与其相抵触时,以国家标准、行业 标准及地方标准为准。本企业对本标准的合法性、真实性、准确性、技术合理性和实施后果负主体责任。 为保证产品质量以及为产品出厂检验与交付提供依据,根据国家和行业的有关要求,结合用户需求, 特制定本企业标准。 本标准参照GB/T 1.1-2009 要求编写。 本标准由福建晶安光电有限公司提出。 本标准由福建晶安光电有限公司负责起草。 本标准主要起草人:刘艺霖。 I Q/FJJA 002-2020 4 寸钽酸锂晶棒 1 范围 本标准规定了4 寸钽酸锂晶棒的制造规格、检验规则、标志、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于我司生产的4 寸钽酸锂晶片,用作制造声表面波 (SAW)滤波器衬底。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 IEC 60410:1973 按属性检查的抽样计划和程序 GB/T 30118 声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法 3 定义和术语 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 钽酸锂LT 采用 Czochralski (提拉法)或其他生长方法生长的,单晶化学式为 LiTaO3 的单晶晶体。 3.2 居里温度 晶体铁电相和顺电相之间的相变温度,通过差热分析(DTA)或介电测量。 3.3 切向角度 晶体学取向通过 X 射线衍射确定。 3.4 基准面 (orientation flat, OF) 标明晶体方向的晶片外缘的平直部份。基准面通常与SAW 传播方向垂直,亦称为”主基准面或主平 边”(如图1) 图1.晶片示意图 3.5 第二基准面 (secondary flat, SF) 晶片外缘上,明显短于OF 的另一条平直面。SF 用于确定晶片的极性方向,并且能够用来辨别不同 1 Q/FJJA 002-2020 的晶片切型,亦称为”附基准面或次平边”(见图1) 4 要求 在用户和供应商之间没有替代协议的情况下,适用4 中列出的规范。 4.1 指标要求 应符合表1 规定 表1 指标要求 NO 描述 性质 标准 公差 单位 1 材料 LT (LiTaO₃) 材料特性

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