GB/T 26312-2010蒸发金.pdf

ICS77.120.99 H 68 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26312 2010 蒸 发 金 Goldforevaoratin p g 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2011-01-14发布 2011-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT26312 2010 前 言 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 Ⅰ / — GBT26312 2010 蒸 发 金 1 范围 、 、 、 、 、 。 本标准规定了蒸发金的要求 试验方法 检验规则和标志 包装 运输 贮存 本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / ( ) GBT11066所有部分 金化学分析方法 / 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GBT15077 / ( ) GBT25934所有部分 高纯金化学分析方法 3 要求 3.1 产品分类 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 蒸发金产品按化学成分分为 和 两种牌号。 3.1.1 Z-Au99.999 Z-Au99.99 、 , 。 蒸发金产品主要以片状