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微电子工艺基础;一 概述;1.为什么要学这门课?;1.为什么要学这门课?;一 概述;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;这门课的对象?;芯片制作流程;这门课的对象?;一 概述;本课程的主要内容;1、绪论、微电子工艺概况(2学时,p1-p15)
2、半导体材料、晶圆制备(3学时,p16-p44 )
3、污染控制、芯片制造基本工艺(3学时,p45-p89 )
4、外延工艺(3学时,p255-p259 )
5、氧化工艺(4学时,p104-p128 )
6、化学气相淀积(3学时,p241-p255和 p261-p265 )
7、金属淀积(4学时, p266-p285 )
8、光刻工艺(6学时, p129-p215 )
9、掺杂技术(4学时, p216-p240 )
10、封装技术(4学时,p334-p397 );参考文献;一 概述;第1章 绪论;第1章 绪论;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 一、微电子产业;第1章 绪论;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 二、芯片制造/生产的几个阶段;第1章 绪论 三、作业;1、有时候读书是一种巧妙地避开思考的方法。五月-20五月-20Saturday, May 09, 2020
2、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。18:03:2218:03:2218:035/9/2020 6:03:22 PM
3、越是没有本领的就越加自命不凡。五月-2018:03:2218:03May-2009-May-20
4、越是无能的人,越喜欢挑剔别人的错儿。18:03:2218:03:2218:03Saturday, May 09, 2020
5、知人者智,自知者明。胜人者有力,自胜者强。五月-20五月-2018:03:2218:03:22May 09, 2020
6、意志坚强的人能把世界放在手中像泥块一样任意揉捏。09 五月 20206:03:22 下午18:03:22五月-20
7、最具挑战性的挑战莫过于提升自我。。五月 206:03 下午五月-2018:03May 09, 2020
8、业余生活要有意义,不要越轨。2020/5/9 18:03:2218:03:2209 May 2020
9、一个人即使已登上顶峰,也仍要自强不息。6:03:22 下午6:03 下午18:03:22五月-20
10、你要做多大的事情,就该承受多大的压力。5/9/2020 6:03:22 PM18:03:2209-五月-20
11、自己要先看得起自己,别人才会看得起你。5/9/2020 6:03 PM5/9/2020 6:03 P
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