GB2020半导体器件 机械和气候试验方法 第26部分：静电放电（ESD）敏感度测试-人体模型（HBM）-编制说明.pdfVIP

国家标准 GB/T 4937.26 《半导体器件 机械和气候试验方法 26 部分：静电放电 （ESD）敏感度测试-人体模型 （HBM）》 （征求意见稿）编制说明 一、工作简况 1 任务来源 《半导体器件 机械和气候试验方法 第 26 部分：静电放电 （ESD ）敏感度 测试-人体模型 （HBM ）》标准制定是 2018 年国家标准计划项目，计划项目批 准文号：国标委发函 【2018 】83 号，计划代号T-339，由中华人民共 和国工业和信息化部提出，由全国半导体器件标准化技术委员会 （SAC/TC 78 ） 归口，主要承办单位为中国电子科技集团公司第十三研究所。项目起止时间：2019 年~2020 年。 2 主要工作过程 2.1 2019.06~2019.08 成立了编制组，编制组成员包括检验试验管理人员、 长期从事静电放电敏感度测试 （HBM）的技术研究人员和试验成员，以及具有多 年国标编制经验的标准化专家。 2.2 2019.09~2019.12 IEC标准翻译和调研，对等同采用的IEC标准进行翻 译、研究、分析和比较，到国内有关单位展开深入调研。 2.3 2020.01~2020.03 编制工作组讨论稿，所内召开讨论会，修改、完善标 准内容，形成了标准的征求意见稿，并编写编制说明。 3 标准编制的主要成员单位及其所做的工作 本标准主要承办单位为中国电子科技集团公司第十三研究所，副主办单位为 河北中电科航检测技术服务有限公司、安徽荣创芯科自动化设备制造有限公司、 北京赛迪君信电子产品检测实验室有限公司、绵阳迈可微检测技术有限公司。在 标准编制中，中国电子科技集团公司第十三研究所主要负责标准的翻译、制定、 试验及验证工作；河北中电科航检测技术服务有限公司、安徽荣创芯科自动化设 备制造有限公司、北京赛迪君信电子产品检测实验室有限公司、绵阳迈可微检测 技术有限公司主要负责标准的文本及格式的校对。 二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题 1 编制原则 本标准为半导体器件机械和气候试验方法标准，属于基础标准。为保证半 导体器件试验方法与国际标准一致，实现半导体器件检验方法、可靠性评价、 质量水平与国际接轨，本标准等同采用 IEC 60749-26 ：20 18 《半导体器件 机械 和气候试验方法 第 26 部分：静电放电 （ESD）敏感度测试-人体模型 （HBM）》。 2 确定主要内容的依据 除编辑性修改外，本标准的结构和内容与 IEC 60749-26 ：20 18 保持一致， 标准编写符合 GB/T 1.1—2009《标准化工作导则 第 1 部分：标准结构和编写》、 GB/T 20000.2-2009 《标准化工作指南 第 2 部分：采用国际标准》的规定。 GB/T 4937 的本部分以元器件和微电路对规定人体模型 （HBM ）静电放电 （ESD ）造成损伤或退化的敏感度为依据，建立了元器件和微电路 ESD 测试、 评价和分级的过程。本标准的目的是建立一种能够复现 HBM 失效的测试方法， 并为不同类型元器件提供可靠、可重复的 HBM ESD 测试结果，且测试结果不因 测试设备而改变。重复性数据可以保证 HBM ESD 敏感度等级的准确划分及对 比。半导体器件的 ESD 测试选自本测试方法、机器模型 （MM ）测试方法 （见 IEC 60749-27 ）或 IEC 60749 系列中的其他 ESD 测试方法。如无特别声明，选择 本测试方法。 我国现行的静电放电敏感度测试 （HBM）的标准主要有：GJB 548B-2005 《微 电子器件试验方法和程序》方法3015 静电放电敏感度的分级、GJB 128A-1997 《半导体分立器件试验方法》方法1020 静电放电敏感性分类、SJ/T 11394-2009 《半导体发光二极管测试方法》。 本标准与GJB 548B-2005 、GJB 128A-1997和SJ/T 11394-2009基本相同，规定 了范围、规范性引用文件、术语与定义、仪器和需要的设备、应力测试设备验证 和周期性确认、分级程序、失效判据、器件分级等内容，但本标准的适用范围更 广，规定内容更加全面，如负载不止有短路线还有500 Ω电阻，短路线负载时规 定的充电