真空系统组成元件资料教程.ppt

真空系统组成元件;真空系统组成元件;;1.1 概述 真空阀门： 在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。 真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定,可查阅有关标准。 JB/T7673-1995 真空设备型号编制方法 JB/T6446-2004 真空阀门 例：GDQ-J320;;真空阀门在系统中的作用 开关气路: 控制气流流动路线 控制气流大小，调节真空度： 定量充气： ;;1.2真空阀门的典型结构 ;隔膜式真空阀 利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。 如图3所示,转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。 此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30～150℃。;;;真空球阀 图4所示是真空球阀的结构,该阀中的密封机构是由两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔,借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向,即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用O形密封圈密封。;;;真空蝶阀 蝶阀的结构比较简单,如图5所示。阀板的边缘上嵌有O形密封圈,阀板靠螺栓固定在传动轴阀杆上,使阀杆带动阀板转动,当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭,从关闭位置、阀板再