KEITHLEY四探针操作手册.pdf

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2020-06-21 发布于安徽
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南开大学硅光电子学与储能实验室四探针操作手册 Four-Point Probe Operation | 2011 0 四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第 1 章引言 1 1. 目的 1 2. 应用范围 1 3. 测试设备 1 四探针 1 数字电压源表 2 第 2 章原理简述 3 1. 薄膜 (厚度≤ 4mm) 电阻率： 3 2. 薄膜方块电阻 3 第 3 章操作方法 5 1. 引言 5 2. 测试线连接方式 5 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 6 4. 探针接触方式 8 5. 数据测试指南 8 第 4 章注意事项 10 附表 I 第 1章引言 1. 目的本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 2. 应用范围测量参数：方块电阻，电阻率测量样品：均匀薄膜，均匀薄片方块电阻测试范围： 0.01? ～500M ? 电阻率测试范围： 10-5 3 ??cm～ 10 ??cm 样品大小：直径 1cm 精度： ±5% 3. 测试设备四探针生产厂商：广州四探针有限公司 RTS-2型基本指标：间距： 1±0.01mm ；针间绝缘电阻 : ≥1000M Ω；机械游移率 : ≤ 0.3 ％；探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径 Ф0.5mm ；探针压力： 5～ 16 牛顿 (总力 )；使用环境：温度 :：23 ±2 ℃；相对湿度：≤ 65 ％；无高频干扰；无强光直射；基本参数： Fsp=0.1 探针间距： 1.0mm 1 数字电压源表生产厂商： KEITHLEY 2400高压源表技术参数：准确度： 0.012 ％功率： 20w 型号： 2400 品牌：吉时利测量范围：可选高电压（ 1100V）或大电流（ 3A ）源 / 测量（ A ） KEITHLEY2400通用型源表 ,最大可测量 200V 的电流和 1A的电流，输出功率 2