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按级数展开， 电容值的总变化量为： §3-3 电容式传感器 相对变化量为： 略去高次项， 相对非线性误差为： 结论：电容传感器做成差动式后，灵敏度增加了一倍，而非线性误差大大降低了。 §3-3 电容式传感器 差动式电容传感器的优点： 1、提高了灵敏度 2、降低了非线性误差 3、抑制了温漂，降低了误差 §3-3 电容式传感器 利用电磁感应原理将被测非电量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈自感系数 L 或互感系数 M 的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出，这种装置称为电感式传感器。 优点：结构简单，工作可靠，测量精度高，输出功率大；能实现信息的远距离传输。 缺点：灵敏度、线性度和测量范围相互制约；传感器频率响应低，不适合快速动态测量。 §3-4 电感式传感器 第四节 电感式传感器 §3-4 电感式传感器 电涡流式 按转换原理分：自感式和互感式 种类 差动变压器 按结构形式分：气隙型和螺管型 应用：广泛的用于位移、振动、压力、应变、流量、比重等参量的测量 §3-4 电感式传感器 一、自感式传感器 1、气隙型电感传感器 工作原理 组成：线圈1，衔铁3和铁芯2等。 图中点划线表示磁路，磁路中空气隙总长度为lδ 。 0.5lδ 1 2 3 x (a)变隙式 (b)变截面式 传感器中有一个气隙 lδ ，它随被测物体的位移而产生±? lδ 的变化，由于衔铁与其同步移动，将引起磁路中气隙磁阻发生相应的变化，从而导致线圈电感的变化。 用于较小行程 l1：铁芯磁路总长； μ1：铁芯磁导率； l2：衔铁的磁路长； μ2：衔铁磁导率； S：气隙磁通截面积； μ0：真空磁导率， S1：铁芯横截面积； μ0=4π×10-7H／m； S2：衔铁横截面积； lδ：空气隙总长。 由磁路基本知识知，线圈自感为: 线圈匝数 磁路总磁阻(铁芯与衔铁磁阻和空气隙磁阻) 磁路总磁阻为: §3-4 电感式传感器 磁阻是表示物质对磁通量所呈现的阻力的一个物理量。 §3-4 电感式传感器 由于自感传感器的铁芯一般在非饱和状态下，其磁导率远大于空气的磁导率，因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小，即μ1=μ2 μ0所以上式可简化为 可见，自感L是气隙截面积和长度的函数，即 L＝f(S,lδ)，如果S保持不变，则L为lδ的单值函数，构成变隙式自感传感器；若保持lδ不变，使S随位移变化，则构成变截面式自感传感器。 §3-4 电感式传感器 输出特性曲线 L=f（S） L S L S L=f（lδ） 变气隙式传感器特性曲线 变截面积式传感器特性曲线 L=f(lδ)为非线性关系。当lδ＝0时，L为∞，考虑导磁体的磁阻，当lδ＝0时，并不等于∞，而具有一定的数值，在lδ较小时其特性曲线如图中虚线所示。如上下移动衔铁使面积S改变，从而改变L值时,则L＝f(S)的特性曲线为一直线。 Δ L Δ lδ 自感变化灵敏度为： 线性度 lδ L ΔL1 ΔL2 L0 lδ0 结论：①当气隙lδ发生变化时，自感的变化与气隙变 化均呈非线性关系，其非线性程度随气隙相对变化Δlδ/lδ的增大而增加； ②气隙减少Δlδ所引起的自感变化ΔL1与气隙增加同样Δlδ所引起的自感变化ΔL2并不相等，即ΔL1＞ΔL2，其差值随Δlδ/lδ的增加而增大。 §3-4 电感式传感器 §3-4 电感式传感器 由前面的分析可见，变气隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾。 由于以上特点，为了减小非线性误差，则要限定lδ的范围，因此变间隙式传感器只能用于微小位移的测量。 为了改善其非线性，常采用差动式的结构。 工作原理如下： §3-4 电感式传感器 E USC 1 3 4 2 Ⅰ Ⅱ R R (l-Δ lδ)/2 (l-Δ lδ)/2 差动变气隙式自感传感器结构由两个电气参数和磁路完全相同的线圈组成。当衔铁3移动时，一个线圈的自感增加，另一个线圈的自感减少，形成差动形式。 灵敏度： 线性度： 3.2 电阻式传感器 案例：振动式地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、