Q_320581FGF002-2020光致抗蚀干膜.pdf

G G30 Q/FGF 长春化工 （江 苏 ）有 限公 司企 业标 准 Q/320581FGF002-2020 代替Q/320581FGF002-2017 光致抗蚀干膜 Dry Film Photo Resist 2020-04-17 发布 2020-04-17 实施 长春化工 （江苏）有限公司 发布 Q/320581FGF002-2020 前 言 目前该产品尚无国家标准、行业标准，根据标准化法的要求，特制定本企业标准，作为组织生产、 质量检验和经营活动的依据。 本标准结构和编写符合 GB/T 1.1-2009 的要求。 本标准自实施之日起，代替Q/320581FGF002-2017。 本标准由长春化工 （江苏）有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：陈琼。 I Q/320581FGF002-2020 光致抗蚀干膜 1 范围 本标准规定了光致抗蚀干膜的定义、分类与命名、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输 和贮存。 本标准规定了以丙烯酸单体为主要原料，以有机溶剂等为辅助原料调制而成光致抗蚀剂，并涂布于 聚酯薄膜后制成的光致抗蚀干膜。 本产品主要适用于电镀阻剂及蚀刻阻剂，除用于一般多层印刷电路板以外，亦可使用于软板、IC 载板及导线架。 2 规范性引用文件 下列文件对于本标准的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本标准。 凡是不注 日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本标准。 GB/T 6679-2003 固体化工产品采样通则 3 定义 本标准采用下列定义。 3.1 感度：曝光时将Stouffer 21 Step曝光尺置于干膜上一起曝光，观察显影后的积层板有残存抗蚀 剂所呈现的最高段数。 3.2 解像性：使用试验底片进行曝光，显影后观察线路状况，记录干膜能够解析的最小线距。 3.3 显影点：将未经过曝光的干膜进入显影槽显影，刚好能被溶解洗掉的地方占显影槽总长的比例。 3.4 密着性：使用试验底片进行曝光，显影后观察线路状况，记录干膜能够附着的最小线宽。 4 分类与命名 4.1 光致抗蚀干膜类产品分为 Ⅰ型和Ⅱ型两种， Ⅰ型为内层板用干膜，Ⅱ型为外层板用干膜。 4.2 命名方式见表1。 表 1 系 列 厚度