集成电路专周热声引线键合.pptxVIP

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  • 2020-06-29 发布于四川
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热声引线键合技术 Thermosonic bonding 热声键合技术概述 热压超声波键合工艺包括热压焊与超声焊两种形式的组合。就是在超声波键合的基础上,采用对加热台和劈刀 同时加热 的方式 ,加热温度较低 (低于 温度值,大约 150℃),加热增强了金属间原始交界面的原子相互扩散和分子(原子)间作用力 ,金属的扩散在整个界面上进行,实现金丝的高质量焊接。键合技术类型与主要特点引线键合工艺可分为三种:热压键合,超声波键合与热压超声波键合 。热压键合热压键合是引线在热压头的压力下,高温加热(250℃)焊丝发生形变 ,通过对时间、温度和压力的调控进行的键合方法。键合时,被焊接的金属无论是否加热都需施加一定的压力。金属受压后产生一定的塑性变形 ,而两种金属的原始交界面处几乎接近原子力的范围,两种金属原子产生相互扩散 形成牢固的焊接。超声波键合 超声波键合不加热 (通常是室温 ),是在施加压力的同时,在被焊件之间产生超声频率的弹性振动,破坏被焊件之间界面上的氧化层,并产生热量,使两固态金属牢固键合。这种特殊的固相焊接方法可描述为:在焊接开始时,金属在摩擦力作用下发生强烈的塑性流动,为纯净金属表面间的接触创造了条件。而接头区的温升以及高频振动 ,又进一步造成了金属 晶格上原子的受激活状态 。因此 ,当有共价键性质的金属原子互相接近到以纳米级的距离时 ,就有可能通过公共 电子形成 了原子间的

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