平行度测量 文档.pptVIP

平行度测量步骤 ? 激光系统可以用于测量线性和旋转的平行 度。 ? 并行测量包括 2 套直线度测量。这是表示之 前已经完成并充分理解直线度测量 , 采集直 线度数据，然后并行性分析。 平行度测量原理 ? 线性平行度测量用于确定两个标称平行轴 之间的角度关系。平行度测量由两组直线 度测量组成，用共同的直线度反射镜参考 基准来进行（就像垂直度测量一样）。 ? 从第 1 运动轴的斜度 ( θ 1) 中减去第 2 运动轴 的直线度数据采集斜度 ( θ 2) ，算出线性平 行度。 ? 线性平行度 = θ 1 - θ 2 线性平行度 直线平行度 ? 计算直线平行度 误差 ? 从第 1 运动轴的斜 度 ( θ 1) 中减去 第 2 运动轴的直线 度数据采集斜度 ( θ 2) ，算出线性 平行度。 ? 线性平行度 = θ 1 - θ 2 固定直线度反射镜 固定和移动的光学设计之间交换的测量 旋转平行度 ? 旋转平行度测量 是确定旋转轴和 一个线性轴之间 的角。 ? 直线度反射镜放 置在旋转轴（如 车床卡盘）和直 线度干涉镜沿着 直线轴，如图 3 所 示。反射是通过 180 °旋转的两组 之间的直线度测 量，如图 4 所示。 激光测量由以下组件构成： ? XL-80 激光头 ?