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传感器与检测技术 项目四 项目四电容式传感器的应用 电容式传感器在位移检测中的应用 电容式湿敏传感器在空气湿度检测中应用 任务一电容传感器在位移检测中的应用 在机床主轴的回转精度不但对于精加工零 任务书 件的形状精度和表面光洁度有着很大的影 响,而且也是评价机床精加工能力的重要 指标之一。利用电容式传感器对机床主轴 进行回转精度的测量(位移检测),以便 预测机床在理想加工条件下所能达到的最 小形状误差和粗糙度,判断产生加工误差 的原因。 电容式传感器的工作原理 E一极板间介质的介电常数; e=56,6为真空中的介电常数 E为相对介电常数 图0401-001-01平板 C=EScn,Sd-两平行板之间的的 型电容器 S一两平行板所覆盖的面积 C—电容量,单位为F; 带电极板,其电容与面积、介电常数成正比,与 极板间距成反比。故电容传感器可分为:变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。 1变极距型 △d a)初始电容值 as 图040100102变极距式电容传感器 b)电容受外力作用,极距减小△d电容器容量变为 C1=Co+△C c)极距增加△d电容器容量变为 △d