《集成电路用石英舟》.pdf

81．040．30 ICS 35 Q 备案号：55988--2016 JC 中华人民共和国建材行业标准 2372—2016 JC／T 集成电路用石英舟 boatsforIC Quartz industry 2016-07-1 1发布 中华人民共和国工业和信息化部 发布 JC／T2372～2016 ．j上．．‘一 月IJ 吾 本标准按照GB／T 1．1—2009给出的规则起草。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。 本标准负责起草单位：上海强华石英有限公司。 本标准参加起草单位：上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电 子材料科技有限公司。 本标准主要起草人：高君、林红斌、杨军、吴长明、周利明、张葆青、周文华、白风茹。 本标准为首次发布。 JC厂r2372—2016 集成电路用石英舟 1 范围 本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以 及标志、清洗、包装、运输和贮存。 本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB／T 3284石英玻璃化学成分分析方法 JCIT2205石英玻璃术语 3术语和定义 JC／T2205晃定的术语和定义适用于本文件。 4分类和标记 4．1 分类 按照集成电路制造工艺中对石英舟材料杂质元素含量的要求分为标准级石英舟(S级)和高纯级石 英舟(H级)。 4．2标记 按产品的分类、名称、产品图号、生产批号和标准编号和检验员编号的顺序标记。 示例：符合JC／T 记为： ll S一石英舟-XXXX-201 2372--2016一Ol 1215-001-JC／T 5材料 材料选用标准级和高纯级石英原材料。 6要求 6．1长度、宽度、高度、直径偏差 石英舟的长度、宽度、高度、直径偏差应符合表l的规定，其他未注明偏差尺寸参照B级。 JC，T2372—20l6 表1长度、宽度、高度、直径偏差 单位为毫米 长度、宽度、高度、直径尺寸范围 级别 ≤6 7～30 3l～lOO lOl～40040l～1ooo l001～2ooo A ±O．1 ±O．2 ±0．3 ±O．5 ±O．5 ±1．O B ±O．5 ±0．5