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- 2021-06-03 发布于四川
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- | 2016-04-25 颁布
- | 2016-11-01 实施
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国家标准 GBT 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料.pdf
ICS31.030
L90
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT32652 2016
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
Fused uartzusedfor uartzceramiccruciblesforcastin olcrstallinesilicon
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2016-04-25发布 2016-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
中 华 人 民 共 和 国
国 家 标 准
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
/ —
GBT32652 2016
*
中 国标 准 出版 社 出版 发 行
北京市朝阳区和平里西街甲 号( )
2 100029
北京市西城区三里河北街 号( )
16 100045
网址:
p g
服务热线:
400-168-0010
年 月第一版
2016 6
*
书号: ·
155066 1-53852
版权专有 侵权必究
/ —
GBT32652 2016
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
。 。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。
SACTC
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