Q_PT 010-2020电子工业用气体 六氟丁二烯.pdf

Q/PT 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司企业标准 Q/PT 0 10-2020 电子工业用气体 六氟丁二烯 2020-05-30 发布 2020-05-30 实施 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 发布 Q/PT 010-2020 前 言 本标准涉及的试验方法参照国内同类产品的相关标准。 本标准由中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司质检部提出并归口。 本标准起草单位：中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司。 本标准主要起草人：倪珊珊、张浩、袁瑞玲、郑秋艳、姚刚、殷越玲。 I Q/PT 010-2020 电子工业用气体 六氟丁二烯 1 范围 本标准规定了电子工业用气体——瓶装六氟丁二烯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、 运输和储存。 本标准适用于经精制纯化获得的六氟丁二烯。该产品在电子工业中用作刻蚀气和清洗气。 分子式：C4F6 分子量：162.03 (按1989年国际相对原子量) 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190-2009 危险货物包装标志 GB 5099-1994 钢质无缝气瓶 GB 5832.1-2003 气体湿度的测定 电解法 GB 7144-1999 气瓶颜色标志 GB/T 3634-2011 纯氢、高纯氢和超纯氢 GB/T 4844.3-2011 高纯氦 GB/T 6681-2003 气体化工产品采样通则 气瓶安全监察规程 3 技术要求 六氟丁二烯的质量应符合表1 的指标要求： 表1 六氟丁二烯指标要求 项 目 指 标 分析方法 -2 99.98 六氟丁二烯纯度，10 ≥ -6 5 氧含量，10 ≤ -6 10 氧、氮、二氧化碳、一氧化碳用PDHID 氮含量，10 ≤ -6 色谱仪检测，有机碳氟、水分用FID 气相色 二氧化碳含量，10 ≤ 5 -6 谱分析。 一氧化碳含量，10 ≤ 5 -6 有机碳氟含量，10 ≤ 150 -6 水含量，10 ≤