T∕ZZB 1373-2019 7N光电子级超纯氨.pdfVIP

ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/ZZB 1373—2019 7N 光电子级超纯氨 7N photoelectric class hyperpure ammonia 2019 - 11 - 27 发布 2019 - 12 - 31 实施 浙江省品牌建设联合会 发 布 T/ZZB 1373—2019 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 基本要求 2 5 技术要求 2 6 试验方法 3 7 检验规则 4 8 标志、包装、贮运及安全要求 5 9 质量承诺 6 I T/ZZB 1373—2019 前 言 本标准依据GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）。 本标准主要起草人：陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）。 本标准评审专家组长：孙卫萍。 本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司负责解释。 II T/ZZB 1373—2019 7N 光电子级超纯氨 1 范围 本标准规定了7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运 输、贮运及安全要求和质量承诺。 本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的 氮化等生产工艺所使用的氨气。 分子式：NH3 。 相对分子质量：17.031 （按2016 年国际相对原子量）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 150.3 压力容器 第3 部分：设计 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 536—2017 液体无水氨 GB 1589 汽车、挂车及汽车列车外廓尺寸、轴荷及质量限值 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3 部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定 GB/T 13075 钢质焊接气瓶定期检验与评定 GB/T 14601 电子工业用气体 氨 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB 20300 道路运输爆炸品和剧毒化学品车辆安全技术条件 GB 31573 无机化学工业污染物排放标准 GB/T 34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 TSG 21 固定式压力容器安全技术监察规程 T